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电动砂轮机
套刻指的是由于结构需要,在一个硅片上进行多次光刻曝光,像做大小不同的套娃一样,由于每次曝光实际位置与预设位置可能存在差别,如果偏差太大,误差积累起来是很惊人的。因此,必须把这个误差控制在一个很小的数值内,这个数值就是套刻精度。目前,荷兰阿斯麦公司的光刻机能够实现1.4纳米的套刻精度,也就是两次光刻之间的位置偏差,不到一根头发丝的万分之一!
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