电动砂轮机

套刻指的是由于结构需要，在一个硅片上进行多次光刻曝光，像做大小不同的套娃一样，由于每次曝光实际位置与预设位置可能存在差别，如果偏差太大，误差积累起来是很惊人的。因此，必须把这个误差控制在一个很小的数值内，这个数值就是套刻精度。目前，荷兰阿斯麦公司的光刻机能够实现1.4纳米的套刻精度，也就是两次光刻之间的位置偏差，不到一根头发丝的万分之一！